謝貴久,男,博士,漢族,1983年9月出生,湖南澧縣人;國(guó)家級(jí)研究所工 作12年、半導(dǎo)體裝備機(jī)構(gòu)工 作5年,2018年被評(píng)為正高級(jí)工程師;國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“高性能制造技術(shù)與重大裝備專項(xiàng)”專家組成員、指南專家、責(zé)任專家。主要從事特種薄膜傳感器技術(shù)、半導(dǎo)體裝備工藝技術(shù)開發(fā),主導(dǎo)開發(fā)的特種薄膜壓力傳感器成功保障921載人航天工程的神舟飛船、空間站等型號(hào),主導(dǎo)開發(fā)的系列減薄機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備支持集成電路產(chǎn)業(yè);主持國(guó)家級(jí)項(xiàng)目6項(xiàng),參與國(guó)家級(jí)課題10項(xiàng),主持重大橫向項(xiàng)目4項(xiàng);發(fā)表SCI、EI和核心期刊論文10余篇;獲得省級(jí)或央企機(jī)構(gòu)級(jí)科技獎(jiǎng)項(xiàng)11項(xiàng),其中二等獎(jiǎng)8項(xiàng),三等獎(jiǎng)3項(xiàng);發(fā)明專利授權(quán)10項(xiàng)(第 1發(fā)明人)。
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